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1100℃磁場爐(外徑Φ100mm)
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四電弧單晶生長系統(4電弧熔樣品,3000℃,可轉動水冷銅坩堝)
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1200℃&130管徑mistcvd系統
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1400℃爐門和門堵一體化箱式爐(MAX:1400℃,容積:36L,高溫開門取放樣,無門堵)
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1400℃爐門和門堵一體化箱式爐(MAX:1400℃,容積:19L,高溫開門取放樣,無門堵)
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1200℃雙爐氫化物氣相外延系統(HVPE)
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1400℃爐門和門堵一體化箱式爐(MAX:1400℃,容積:3.4L,高溫開門取放樣,無門堵)
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1400℃爐門和門堵一體化箱式爐(MAX:1400℃,容積:8L,高溫開門取放樣,無門堵)
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1200℃梯度可調提拉式晶體爐
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900℃雙溫區旋轉CVD爐(配備不銹鋼異形耐壓管,最大壓力0.1MPa)
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1200℃手套箱連體管式爐系統
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10T電動無油壓力機
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分體式蒸發鍍膜儀(可放入手套箱)
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1200℃高溫霧化熱腐蝕爐
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1100℃&6英寸CVD系統(鈦合金法蘭、防腐型)
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方形壓片模具(可定制,最大尺寸80×80mm)
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三管式爐連接手套箱系統(H2O&O2<1PPM)
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800℃&0.1MPa不銹鋼防腐回轉爐
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750℃&5T真空平板熱壓機
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1500℃快速升降溫提拉爐(雙溫區、管徑可選)
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900℃不銹鋼耐腐回轉爐
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1200℃超聲霧化PECVD系統(超聲頻率40KHZ)
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高溫高壓爐
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自動化16通道固體粉料分配機構