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  • 四電弧單晶生長系統(4電弧熔樣品,3000℃,可轉動水冷銅坩堝)
  • 1200℃&130管徑mistcvd系統
  • 1400℃爐門和門堵一體化箱式爐(MAX:1400℃,容積:36L,高溫開門取放樣,無門堵)
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  • 1200℃雙爐氫化物氣相外延系統(HVPE)
  • 1400℃爐門和門堵一體化箱式爐(MAX:1400℃,容積:3.4L,高溫開門取放樣,無門堵)
  • 1400℃爐門和門堵一體化箱式爐(MAX:1400℃,容積:8L,高溫開門取放樣,無門堵)
  • 1200℃梯度可調提拉式晶體爐
  • 900℃雙溫區旋轉CVD爐(配備不銹鋼異形耐壓管,最大壓力0.1MPa)
  • 1200℃手套箱連體管式爐系統
  • 10T電動無油壓力機
  • 分體式蒸發鍍膜儀(可放入手套箱)
  • 1200℃高溫霧化熱腐蝕爐
  • 1100℃&6英寸CVD系統(鈦合金法蘭、防腐型)
  • 方形壓片模具(可定制,最大尺寸80×80mm)
  • 三管式爐連接手套箱系統(H2O&O2<1PPM)
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  • 1500℃快速升降溫提拉爐(雙溫區、管徑可選)
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