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SiC陶瓷基片
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1200℃三溫區管式爐
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灰化收集爐
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帶有自動送料的感應加熱PVD納米材料制備系統
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小型密封送料器
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桌面式紫外臭氧清洗機(12" x 12"腔室和最高150℃的加熱臺）
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精密真空壓力調節系統 (配渦輪增壓泵,可選配冷阱)
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真空攪拌機 (配真空泵,2個攪拌罐,可選1升混合器)
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回轉爐
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供氣系統
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恒壓系統
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PECVD系統
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1200℃小型PECVD 管式爐系統
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100℃變速電熱軋機 （軋輥寬100mm，AR氣體兼容）
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1500℃開啟式管式爐，帶真空法蘭和2或3英寸剛玉管
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12英寸近距離旋轉蒸發鍍膜爐
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回轉爐
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1200℃下裝載升降真空爐（氣體冷卻，加熱區尺寸：Φ240*260mm）
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1400℃箱式爐（8L，爐腔尺寸：200*200*200mm）
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1200℃箱式爐（27L，爐腔尺寸：300*300*300mm）
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1500℃雙溫區管式爐
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1400℃箱式爐（18.8L，爐腔尺寸：250*300*250mm）
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電弧輔助可二次加料真空熔煉爐 (1200℃,Ф200 * 425mm)
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1750℃小型真空管式爐 (60mm管徑)
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皖公網安備 34012302000974號
