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三溫區(qū)1500℃ PECVD系統(tǒng)
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1100℃三溫區(qū)高壓高真空管式爐
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1200℃小型開啟式管式爐,帶可插入式溫度校準器和真空系統(tǒng)
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4工位滾筒球磨機
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1200℃微型開啟式管式爐 (200mm加熱區(qū),帶密封法蘭和 可選尺寸石英管)
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小型金剛石線切割機
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3L數控等離子清洗機 (配真空泵,6"x6.5"石英腔室)
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1200℃三溫區(qū)PE粉體回轉爐系統(tǒng)
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經濟型擠壓涂覆機
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800℃ CSS/RTP快速熱蒸鍍爐(配5英寸旋轉樣品臺)
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1500℃氣氛可控型淬火爐(配有手套箱)
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1100度小型真空/氣氛快速升降溫RTP爐(載物臺:4英寸 升溫速度:50度/S)
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氮化硼(BN)脫模劑(用于各種干壓磨具)
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多功能衍射儀
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儀表
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纖維氈
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交流接觸器
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固態(tài)繼電器
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法蘭總成
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壓力表
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1000℃迷你混合爐 (箱式管式二合一,130*100*100mm)
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LaSrAlO4晶體基片
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40 L容量行星球磨機 (4x10L,多種材質罐可選)
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1100℃小型高真空熔煉爐