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Si片外延AIN薄膜
- 關鍵字:
- Si+AlN dia4
- 產品概述:
- Si片外延AlN膜是通過HVPE方法生長,其實驗襯底效果已日漸取代AlN單晶基片
免責聲明:
本站產品介紹內容(包括產品圖片、產品描述、技術參數等)僅用于宣傳用途,僅供參考。由于更新不及時和網站不可預知的BUG可能會造成數據與實物的偏差,請勿復制或者截圖。如果您對參數有異議,或者想了解產品詳細信息及更多參數,請與本公司銷售人員聯系。本站提供的信息不構成任何要約或承諾,請勿將此參數用于招標文件或者合同,科晶公司會不定期完善和修改網站任何信息,恕不另行通知,請您諒解。
如果您需要下載產品的電子版技術文檔,說明書(在線閱覽),裝箱單,與售后安裝條件等文件,請點擊上方的附件下載模塊中選取。商城產品僅針對大陸地區客戶,購買前請與工作人員溝通,以免給您帶來不便。
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產品名稱
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Si片外延AlN膜 |
產品簡介
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Si片外延AlN膜是通過HVPE方法生長,其實驗襯底效果已日漸取代AlN單晶基片 |
技術參數
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AlN厚度: | 200nm ±10%, 單面鍍膜 | 正面: | <2nm RMS, as-grown | 背面: | silicon as received | AlN晶向: | (00.2) | 宏缺陷密度: | <10/cm^2 | 薄膜襯底: | Si [111] N type, dia 4" x0.5 mm, res: 1~10 ohm-cm, 單拋 |
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常規尺寸
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dia 4" x0.5 mm,單拋 |
標準包裝
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1000級超凈室,100級超凈袋或單片盒封裝 |
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