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Pt+Ti+SiO2+Si+BiFeO3薄膜
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Film Specifications
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· Chemical composition: BiFeO3 · Film thickness: ~ 400 nm · Crystalline: Polycrystal · Growth Method: Spin coating + Annealing ·
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SubstrateSpecifications
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· Conductive type: SiO2+Ti+Pt thin film on Si(B-doped) substrate ,10x10x0.5mm,1sp( SiO2=500nm,Pt=200nm,Ti=50nm) · Resistivity: <0.005 ohm.cm · Size: 10x10 x 0.5 mm · Polish: one side polished · Surface roughness: < 5A
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Film Properties ( click below picture to see details)
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