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                    小型等離子清洗機
                    
                    
                     
                        - 型號:
- PCE-6V
- 產品概述:
- PCE-6V小型等離子清洗機集成了RF等離子體發生技術、計算機控制技術、軟件編程技術,采用氣體作為清洗介質,有效地避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。工作時外接一臺真空泵,清洗腔內的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,可短時間內徹底清洗掉有機污染物,清洗程度可達到分子級。另外,其樣品臺可選配加熱功能,可加負偏壓,用以實現離子蝕刻。此外,其可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能。
 
             
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                            | 主要特點 | 
 ? 采用氣體作為清洗介質,避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。 ? 可短時間內徹底清洗掉有機污染物。 ? 清洗程度可達到分子級。 ? 可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能。 ? 清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強粘附性、相容性和浸潤性,并可消毒和殺菌。 ? 樣品臺可選配加熱功能,可加負偏壓,用以實現離子蝕刻。 ? 廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫學、微觀流體學等領域。 | 
                        
                        
                            | 參數 | ? 電壓:AC220V  10A ? 消耗功率:<500W(包括真空泵) ? RF電源:輸出功率100W,輸出頻率13.56MHz ? 腔體:Φ190mm×98mm   ? 石英管:Φ180mm×55mm,壁厚7mm ? 內腔:Φ165mm×55mm ? 清洗電極:Φ120mm ? 樣品臺:Φ150mm,有效尺寸Φ140mm ? 樣品臺與電極間距:15mm-50mm可調 ? 抽氣管:Φ12mm ? 極限真空度:0.1Pa ? 工作真空度:60Pa-500Pa ? 氣路數量:2路(選裝) ? 流量控制器數量:1、2 ? 流量顯示儀:2通道 ? 氣路接口:Φ6mm ? 加熱樣品臺:Φ140mm,加熱樣品溫度RT-600℃±1℃(選裝) ? 冷卻水壓力:0.2KPa-0.4KPa ? 工作環境:溫度5℃-35℃,濕度<80%(相對濕度)不結露,海拔高度0-2000m | 
                        
                        
                            | 產品規格 | ? 尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵) ? 重量:20kg(不含真空泵) | 
                        
                        
                            | 可選配置 | ? 加熱樣品臺 ? 流量控制器(量程10、50、100,最多可增加2個通道) | 
                        
                    
                 
                
                
                    
                
                
                    
                
                
                    
                
             
            
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