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Si+SiO2+Ti+Pt <111>
關鍵字:
dia2"進口薄膜
產品概述:
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
產品名稱

Si上鍍SiO2+Ti+Pt


薄膜參數

Si參數:

P型,R;5-10ohm.cm

SiO2參數:

300nm

Ti參數:

10nm

Pt 參數:

150nm

Pt薄膜最大熱預算:

< 700~750 degree C / 1 hr(Maximum Thermal Budget of Pt film)


常規尺寸

dia2" ±0.5 mm x 0.279 mm、單拋


數據圖

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標準包裝

1000級超凈室100級超凈袋真空包裝或者單片盒裝


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