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康寧7980上鍍Si3N4
產品概述：
免責聲明： 本站產品介紹內容（包括產品圖片、產品描述、技術參數等）僅用于宣傳用途，僅供參考。由于更新不及時和網站不可預知的BUG可能會造成數據與實物的偏差，請勿復制或者截圖。如果您對參數有異議，或者想了解產品詳細信息及更多參數，請與本公司銷售人員聯系。本站提供的信息不構成任何要約或承諾，請勿將此參數用于招標文件或者合同，科晶公司會不定期完善和修改網站任何信息，恕不另行通知，請您諒解。 如果您需要下載產品的電子版技術文檔，說明書（在線閱覽），裝箱單，與售后安裝條件等文件，請點擊上方的附件下載模塊中選取。商城產品僅針對大陸地區客戶，購買前請與工作人員溝通，以免給您帶來不便。
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產品名稱

康寧7980上鍍Si3N4（Silicon?Nitride?Film?(LPCVD)?on?Corning?7980）
產品簡介

The Si3N4 film may have stressed induced micro-cracking resulted from the large difference of thermal expansion coefficient between Si3N4 and SiO2 fused silica
技術參數

Si3N4薄膜：

鍍膜方法：

low stress LPCVD method低壓力化學氣相沉積法

膜層厚度：

1.3um  +/- 5%

鍍膜情況：

雙面鍍膜

UV級石英 UV Grade Fused Silica (Corning 0F 7980 HPFS)：

常規尺寸:

dia100.0 (±0.20) mm x 0.5 (± 0.10) mm

邊緣：

CNC Ground

表面質量：

60/40 

失效區域：

 2.0 mm border

TTV:

< 20 microns

拋光情況：

雙面拋光(60/40)
產品規格

dia100x0.5mm；10x5x0.5mm；10x10x0.5mm
標準包裝

1000級超凈室100級超凈袋或單片盒包裝
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