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桌面紅外加熱型提拉涂膜機
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4工位傾斜式提拉涂覆機
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納米級恒溫提拉涂膜機
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冷阱
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1650℃布里奇曼單晶生長爐
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600mm流延涂覆機
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200℃加熱型薄膜 涂布機 (250mm*530mm,配250mm刮刀)
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1700℃高溫箱式氫氣爐 （8L, 200*200*200mm）
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液壓平衡電動對輥機
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超聲旋轉(zhuǎn)噴涂儀 （300-3000 rpm，300mm晶片）
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氣氛可控型旋轉(zhuǎn)涂敷機
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真空旋轉(zhuǎn)涂層機
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1200℃雙溫區(qū)連續(xù)生長卷對卷PECVD系統(tǒng) (φ80mm x 1400 mm,溫區(qū)長440mm)
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10L高剪切濕法顆粒混料機
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小型滾軸式混料機
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5L雙行星式真空攪拌機
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實驗室氣體干燥裝置
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真空樣品貯存器
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（53L）可防爆真空儲存箱
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215L可防爆真空儲存箱
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600℃程序控溫鼓風干燥箱
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500℃高溫真空烘箱
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400℃真空烘箱(25L)
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200℃真空烘箱帶真空泵（91.1L，爐腔尺寸：450*450*450mm）
皖公網(wǎng)安備 34012302000974號
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