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1100℃雙溫區(qū)分體式管式爐(配100mm石英管,真空法蘭)
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1100℃小型開啟式立式管式爐(φ25mm或50mm石英管)
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100L/S高速分子泵組 (觸摸屏控制)
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1200℃小型雙爐體滑動(dòng)TCVD爐(50mm石英管)
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1200℃可快速升降溫滑軌管式爐
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1200℃三溫區(qū)滑軌爐
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雙極旋片式真空泵
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單級旋片式真空泵
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1500℃六溫區(qū)開啟式管式爐(Φ60剛玉管&不銹鋼水冷密封法蘭)
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精密氣動(dòng)點(diǎn)焊機(jī)
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柱狀電池電極半自動(dòng)分切機(jī)
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雙層立式油霧過濾器
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管式爐用自動(dòng)水氧 循環(huán)系統(tǒng) (O2/H2O<1ppm)
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1100度小型真空/氣氛快速升降溫RTP滑軌爐(載物臺(tái):4英寸 升溫速度:50度/S)
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程控垂直提拉機(jī)
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微米級恒溫提拉涂膜機(jī)
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40T手動(dòng)冷等靜壓機(jī)(腔體內(nèi)徑φ30mm,最大壓強(qiáng)500 MPa)
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1700℃小型箱混爐 (配雙層殼體和 2 根 13mm 氧化鋁管)
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6工位程控提拉涂膜機(jī)
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全自動(dòng)5工位恒溫提拉涂膜機(jī)
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毫米級恒溫程控提拉涂膜機(jī)
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恒溫提拉涂膜機(jī)
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提拉涂膜機(jī)
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程控提拉涂膜機(jī)